伴隨著光纖通信技術的快速發展,小到芯片間,大到數據中心間的大規模數據交換處理,都迫切需求高速,可靠,低成本,低功耗的互聯。目前,主流的光互聯技術分為兩類。一類是基于III-V族半導體材料,另一類是基于硅等與現有的成熟的微電子CMOS工藝兼容的材料。基于III-V族半導體材料的光互聯技術,在光學性能方面較好,但是其成本高,工藝復雜,加工困難,集成度不高的缺點限制了未來大規模光電子集成的發展。硅光芯片器件可將光子功能和智能電子結合在一起以提供潛力巨大的高速光互聯的解決方案。硅光芯片耦合測試系統保證產品質量一致性，節約了人力成本，降低對人工的依賴。上海振動硅光芯片耦合測試系統公司

經過多年發展,硅光芯片耦合測試系統如今已經成為受到普遍關注的熱點研究領域。利用硅的高折射率差和成熟的制造工藝,硅光子學被認為是實現高集成度光子芯片的較佳選擇。但是,硅光子學也有其固有的缺點,比如缺乏高效的硅基有源器件,極低的光纖-波導耦合效率以及硅基波導明顯的偏振相關性等都制約著硅光子學的進一步發展。針對這些問題,試圖通過新的嘗試給出一些全新的解決方案。首先我們回顧了一些光波導的數值算法,并在此基礎上開發了一個基于柱坐標系的有限差分模式分析器,它非常適合于分析彎曲波導的本征模場。對于復雜光子器件結構的分析,我們主要利用時域有限差分以及波束傳播法等數值工具。接著我們回顧了硅基光子器件各項主要的制造工藝和測試技術。重點介紹了幾種基于超凈室設備的關鍵工藝,如等離子增強化學氣相沉積,電子束光刻以及等離子體干法刻蝕。為了同時獲得較高的耦合效率以及較大的對準容差,本論文主要利用垂直耦合系統作為光子器件的主要測試方法。上海震動硅光芯片耦合測試系統大體上來講，旋轉耦合是通過使用線性偏移測量及旋轉移動相結合的方法。

硅光芯片耦合測試系統硅光陣列微調設備,微調設備包括有垂直設置的第1角度調節機構與第二角度調節機構,微調設備可帶動設置于微調設備上的硅光陣列在垂直的兩個方向實現角度微調。本發明還提供一種光子芯片測試系統硅光陣列耦合設備,包括有微調設備以及與微調設備固定連接的位移臺,位移臺可實現對探針卡進行空間上三個方向的位置調整。基于光子芯片測試系統硅光陣列耦合方法,可使得硅光陣列良好的對準到芯片端面的光柵區間,從而使得測試過程更加穩定,結果更加準確。

在光芯片領域，芯片耦合封裝問題是光子芯片實用化過程中的關鍵問題，芯片性能的測試也是至關重要的一步驟，現有的硅光芯片耦合測試系統系統是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動微調架轉軸進行調光，并依靠對輸出光的光功率進行監控，再反饋到微調架端進行調試。芯片測試則是將測試設備按照一定的方式串聯連接在一起，形成一個測試站。具體的，所有的測試設備通過光纖，設備連接線等連接成一個測試站。例如將VOA光芯片的發射端通過光纖連接到光功率計，就可以測試光芯片的發端光功率。將光芯片的發射端通過光線連接到光譜儀，就可以測試光芯片的光譜等。因為硅光芯片以硅作為集成芯片的襯底，所有能集成更多的光器件。

硅光芯片耦合測試系統應用到硅光芯片，我們一起來了解硅光芯片的重要性。為什么未來需要硅光芯片，這是由于隨著5G時代的到來，芯片對傳輸速率和穩定性要求更高，硅光芯片相比傳統硅芯的性能更好，在通信器件的高級市場上，硅光芯片的作用更加明顯。未來人們對流量的速度要求比較高，作為技術運營商，5G的密集組網對硅光芯片的需求大增。之所以說硅光芯片定位通信器件的高級市場，這是由于未來的5G將應用在生命科學、超算、量子大數據、無人駕駛等，這些領域對通訊的要求更高，不同于4G網絡，零延時、無差錯是較基本的要求。目前，國內中心的光芯片及器件依然嚴重依賴于進口，高級光芯片與器件的國產化率不超過10%，這是國內加大研究光芯的內在驅動力。硅光芯片耦合測試系統系統已被應用于人類社會的各個領域。上海多模硅光芯片耦合測試系統生產廠家

硅光芯片耦合測試系統的優點：穩定。上海振動硅光芯片耦合測試系統公司

硅光芯片耦合測試系統組件裝夾完成后，通過校正X,Y和Z方向的偏差來進行的初始光功率耦合，圖像處理軟件能自動測量出各項偏差，然后軟件驅動運動控制系統和運動平臺來補償偏差，以及給出提示，繼續手動調整角度滑臺。當三個器件完成初始定位，同時確認其在Z軸方向的相對位置關系后，這時需要確認輸入光纖陣列和波導器件之間光的耦合對準。點擊找初始光軟件會將物鏡聚焦到波導器件的輸出端面。通過物鏡及初始光CCD照相機，可以將波導輸出端各通道的近場圖像投射出來，進行適當耦合后，圖像會被投射到顯示器上。上海振動硅光芯片耦合測試系統公司