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浙江光刻機精密溫控 創新服務 南京拓展科技供應

2025-09-21 02:18:00

在光學領域,干涉儀扮演著無可替代的 “基準量具” 角色。其測量精度直接受到工作環境的影響,包括溫度、濕度、氣壓波動等影響因素,尤其是溫度控制的細微偏差,都可能成為測量結果失準的 “系統性誤差源”。極測(南京)自研生產的精密環控系統,為干涉儀打造穩定的外部運行環境,包括精密溫度控制,以及濕度穩定性,氣壓穩定性,噪聲等。同時針對內部腔體區域采用局部氣浴的模式,保證內部檢測腔環境的穩定性,是許多半導體企業的選擇。控溫精度:提供業界前列的 ±0.002℃高精密溫度控制能力,溫度水平均勻性嚴格控制在

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