考慮到不同生產(chǎn)車間的布局需求，極測精密環(huán)控設(shè)備采用可拆卸鋁合金框架，大型設(shè)備可在現(xiàn)場便捷組裝，節(jié)省安裝時間與成本。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅固耐用，還可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色，融入不同的工作環(huán)境。設(shè)備運(yùn)行時，采用 EC 風(fēng)機(jī)和高效隔音材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)靜音高效運(yùn)轉(zhuǎn)，噪音低于 45dB，為操作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境，避免噪音干擾測量操作和數(shù)據(jù)分析。 自推出以來，極測精密環(huán)控設(shè)備已成功為眾多企業(yè)的三坐標(biāo)測量儀提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境，贏得了贊譽(yù)。在制造業(yè)對高精度、高效率生產(chǎn)要求日益提升的如今極測精密環(huán)控設(shè)備為精密制造和質(zhì)量檢測奠定堅實(shí)基礎(chǔ)，助力企業(yè)在激烈的市場競爭中脫穎而出。極測（南京）冷水機(jī)組冷凍水的出水溫度蕞高精度可達(dá)±0.002℃，配置過載保護(hù)、液位監(jiān)測、漏液檢測等功能。北京激光設(shè)備精密溫控

極測（南京）致力于為芯片半導(dǎo)體、電子信息、光學(xué)儀器、精密制造、新能源、航空航天等行業(yè)提供高質(zhì)量的高精密環(huán)境解決方案，是一家為行業(yè)創(chuàng)造價值、深獲客戶信賴的杰出企業(yè)。我們擁有一支強(qiáng)大的研發(fā)及設(shè)計團(tuán)隊(duì)，涵蓋了產(chǎn)品經(jīng)理、結(jié)構(gòu)工程師、暖通專業(yè)人員、電氣自控專業(yè)人員等各類專業(yè)人才。這支多元化的團(tuán)隊(duì)?wèi){借深厚的專業(yè)知識和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，能夠滿足客戶的多樣化需求。此外，公司還擁有自己的工廠，能夠有效地將研發(fā)成果轉(zhuǎn)化為實(shí)際產(chǎn)品，為眾多矢口名公司提供了高質(zhì)量的設(shè)備和服務(wù)。北京激光設(shè)備精密溫控光學(xué)儀器對溫濕度、潔凈度、抗微振等有嚴(yán)格的要求，主要源于光學(xué)儀器的高精密性和對生產(chǎn)環(huán)境的敏感性。

作為南京拓展科技旗下專注于微環(huán)境控制技術(shù)的關(guān)鍵企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司打造的超精密儀器室，通過集成自主研發(fā)的高精密微環(huán)境控制系統(tǒng)，為光刻機(jī)、立式干涉儀等精密儀器構(gòu)建了溫度波動極小、潔凈度極高（潔凈恒溫）的理想工作環(huán)境，精密儀器室成為支撐高精度測量與科研生產(chǎn)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
納米級溫控，超高精度溫度波動極測運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，使得環(huán)境內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。實(shí)現(xiàn)±0.002℃，±0.005℃，±0.05℃，±0.01℃，±0.1℃等不同等級精度的溫度控制。為精密儀器打造高精密恒溫穩(wěn)定操作環(huán)境。 蕞高ISO class1級潔凈，打造無塵空間精密儀器室系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制，蕞高優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），達(dá)到ISO class1，避免灰塵等污染物影響光線傳播。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，有效防止因濕度變化引發(fā)的光學(xué)元件發(fā)霉、機(jī)械部件生銹等問題，延長精密儀器使用壽命。 全場景非標(biāo)定制，滿足多元化需求精密儀器室可根據(jù)用戶需求，滿足用戶不同的溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，以及抗微振、防磁、隔音等多樣化的個性要求，保證用戶的正常使用。

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運(yùn)維系統(tǒng)。運(yùn)行中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環(huán)境變化情況；數(shù)據(jù)自動保存且可隨時導(dǎo)出，運(yùn)行狀態(tài)與故障狀態(tài)同步記錄，方便進(jìn)行數(shù)據(jù)分析、質(zhì)量追溯與故障排查。自動**保護(hù)系統(tǒng)更是為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行提供了全天候保障，一旦出現(xiàn)異常，系統(tǒng)將立即啟動保護(hù)機(jī)制，減少因故障導(dǎo)致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進(jìn)的環(huán)境控制技術(shù)，為晶圓操作空間樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導(dǎo)體制造中環(huán)境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發(fā)提供了堅實(shí)的保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對晶圓操作環(huán)境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮更加重要的作用，助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的高度。此外，晶圓在高溫環(huán)境下可能會因?yàn)闊崤蛎浂l(fā)生變形，影響成品率。

超高潔凈環(huán)境保障：系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)蕞高ISO Class 1級的潔凈環(huán)境（每立方米≥0.1μm顆粒物≤10個），這一潔凈級別極大降低了因顆粒物導(dǎo)致的鍵合缺陷風(fēng)險。
濕度與壓力協(xié)同控制：除了溫控精度與潔凈度，系統(tǒng)蕞高能將濕度穩(wěn)定性維持在±0.3%RH，壓力波動控制在±3Pa以內(nèi)。這種多參數(shù)協(xié)同控制能力，為鍵合工藝提供了全方wei、全時段的穩(wěn)定環(huán)境保障。 在一些化學(xué)蝕刻工藝中，濕度過高或過低都會影響蝕刻速度和精度，蕞終影響芯片的良品率。四川0.001精密溫控

智能閉環(huán)監(jiān)控：內(nèi)置自動**保護(hù)系統(tǒng)，異常情況即時響應(yīng)，故障自動處理機(jī)制確保設(shè)備 7x24 小時無憂運(yùn)行。北京激光設(shè)備精密溫控

極測的精密溫控箱罩專為滿足三坐標(biāo)測量儀等精密設(shè)備的嚴(yán)苛環(huán)境需求而設(shè)計。其具備的 ±0.002℃高精密溫度控制能力，猶如為三坐標(biāo)測量儀構(gòu)建了一個恒溫 “堡壘”。精密溫控箱罩運(yùn)用自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，確保精密溫控箱罩內(nèi)部溫度穩(wěn)定性關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK（靜態(tài)），溫度水平均勻性小于 16mK/m。保證測量儀在長時間運(yùn)行過程中始終保持穩(wěn)定的測量精度，實(shí)現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。除了溫度控制，精密溫控箱罩在濕度和潔凈度方面同樣表現(xiàn)。精密溫控箱罩內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，避免了因濕度問題導(dǎo)致的測量儀零部件生銹、電子元件短路等故障，延長了設(shè)備使用壽命。同時，該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），有效防止灰塵等微小顆粒附著在測量儀的光學(xué)部件或被測工件表面，避免對測量精度造成干擾。北京激光設(shè)備精密溫控